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半導(dǎo)體究竟為何需要使用到連續(xù)式等離子清洗機(jī)?

返回列表 來源:普樂斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2022-08-03 13:28【
文章導(dǎo)讀:有那么一種高新技術(shù)設(shè)備叫做連續(xù)式等離子清洗機(jī),它在半導(dǎo)體封裝行業(yè)可謂是神兵利器,能夠?yàn)榘雽?dǎo)體加工提供極大的便捷。雖然這個(gè)設(shè)備的名字聽起來似乎有些拗口,但同時(shí)它還有著另外一個(gè)名字,就是在線式等離子清洗機(jī),其作用是可以起到在流水線上連續(xù)進(jìn)行等離子處理的作用。
有那么一種高新技術(shù)設(shè)備叫做連續(xù)式等離子清洗機(jī),它在半導(dǎo)體封裝行業(yè)可謂是神兵利器,能夠?yàn)榘雽?dǎo)體加工提供極大的便捷。雖然這個(gè)設(shè)備的名字聽起來似乎有些拗口,但同時(shí)它還有著另外一個(gè)名字,就是在線式等離子清洗機(jī),其作用是可以起到在流水線上連續(xù)進(jìn)行等離子處理的作用。
續(xù)式等離子清洗機(jī)
今天我們要說到的就是這個(gè)連續(xù)式等離子清洗機(jī),看看它為何會(huì)應(yīng)用到半導(dǎo)體行業(yè)當(dāng)中?
連續(xù)式等離子清洗機(jī)的類型其實(shí)很多,主要是以放電形式和上下料自動(dòng)動(dòng)作來區(qū)分的。按照放電形式,可分為PE模式和RIE模式,這是與功率電極的連接、電極結(jié)構(gòu)和產(chǎn)品放置相關(guān)的;按照上下料的方式,有平臺交互式、抽屜式和一進(jìn)一出式。
先就設(shè)備本身而言,連續(xù)式等離子清洗機(jī)它的主要組成部分有:上下料自動(dòng)裝置、真空系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、氣路控制和真空等離子反應(yīng)腔體。
續(xù)式等離子清洗機(jī)
它正式開始運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),其基本流程是:
1.產(chǎn)品傳送到真空反應(yīng)腔體內(nèi);
2.真空泵將腔體內(nèi)的環(huán)境抽到接近真空狀態(tài);
3.輸入反應(yīng)需要的氣體;
4.進(jìn)行放電,產(chǎn)生等離子;
5.等離子轟擊產(chǎn)品表面,完成處理。
當(dāng)產(chǎn)品的處理完成之后,腔體內(nèi)會(huì)還原到標(biāo)準(zhǔn)的大氣壓環(huán)境。而下料裝置會(huì)把產(chǎn)品輸送到指定位置。
這個(gè)流程大約在10到600秒之間不等,這主要取決于不同的工藝和處理的產(chǎn)品等方面。
正是因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)的高要求,而連續(xù)性等離子清洗機(jī)又能很好的符合這一要求,才體現(xiàn)出來連續(xù)性等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)的重要性。
續(xù)式等離子清洗機(jī)
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