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普樂斯等離子清洗設備行業(yè)觀察,中芯14nm提前一年量產(chǎn)

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文章導讀:普樂斯等離子清洗設備行業(yè)觀察,中芯南方集成電路制造有限公司即中芯南方廠,位于上海市浦東張江哈雷路,這里有國內(nèi)第1條14nm工藝生產(chǎn)線,在去年第3季度就已開始成功量產(chǎn)14nmFinFET,成為中國內(nèi)地zui先進的集成電路生產(chǎn)基地。
普樂斯等離子清洗設備行業(yè)觀察,中芯南方集成電路制造有限公司即中芯南方廠,位于上海市浦東張江哈雷路,這里有國內(nèi)第1條14nm工藝生產(chǎn)線,在去年第3季度就已開始成功量產(chǎn)14nmFinFET,成為中國內(nèi)地zui先進的集成電路生產(chǎn)基地。
普樂斯等離子清洗設備行業(yè)觀察,中芯14nm提前一年量產(chǎn)
根據(jù)2014年發(fā)布的《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》:到2020年,16/14nm工藝要完成規(guī)模量產(chǎn),封裝測試技術做到全球ling先地位,核心裝備和材料進到全球采購體系,基本上建成技術先進、安全可靠的集成電路產(chǎn)業(yè)體系。
普樂斯等離子清洗設備行業(yè)觀察,中芯14nm提前一年量產(chǎn)
據(jù)悉,中芯從2015年開始研發(fā)14nm,現(xiàn)階段良品率現(xiàn)已做到95%。另據(jù)披露,中芯的12nm工藝已開始客戶導入,官方稱比14nm功耗降低20%、性能提升10%、錯誤率降低20%,而下一代工藝的研發(fā)也已穩(wěn)步開展。

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    3)設備維護簡單,只需進行簡單的清洗和更換
    4)沿噴嘴線性均衡的超聲波使得工件橫向清洗性能保持一致
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